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J-GLOBAL ID：200902043584952086   Reference number：88A0223047

Plasma source ion-implantation technique for surface modification of materials.

材料の表面変性のためのプラズマ源イオン注入法

Author (5)： CONRAD J R (Univ. Wisconsin, WI, USA) ,  RADTKE J L (Univ. Wisconsin, WI, USA) ,  DODD R A (Univ. Wisconsin, WI, USA) ,  WORZALA F J (Univ. Wisconsin, WI, USA) ,  TRAN N C (Univ. Wisconsin, WI, USA)
Material： Journal of Applied Physics  (Journal of General Physics and its Application to Other Sciences and to Industry)
Volume： 62  Issue： 11  Page： 4591-4596  Publication year： Dec. 01, 1987 
JST Material Number： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： ion implantation ,...
Semi thesaurus term： PSII

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JST classification (2)： Irradiational changes in properties and structures in general  (BK16121W) ,  Applications of plasma  (BJ02110K)

Terms in the title (2)： 表面変性 ,  プラズマ源イオン注入