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J-GLOBAL ID：200902044524037040   Reference number：92A0002668

Solution precursor chemical vapor deposition of titanium oxide thin films.

酸化チタン薄膜の溶液先駆体(プレカーサ)化学蒸着

Author (3)： LU J-P (Cornell Univ., NY, USA) ,  WANG J (Cornell Univ., NY, USA) ,  RAJ R (Cornell Univ., NY, USA)
Material： Thin Solid Films
Volume： 204  Issue： 1  Page： L13-L17  Publication year： Sep. 20, 1991 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： thin film growth ,...
Semi thesaurus term： プレカーサ

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (5)： 酸化チタン薄膜 ,  溶液 ,  先駆体 ,  プレカーサ ,  化学蒸着