Art

J-GLOBAL ID：200902045589214841   Reference number：90A0606322

Operation of microfabricated harmonic and ordinary side-drive motors.

マイクロ加工高調波型並びに通常型の側面駆動モータの動作

Author (4)： MEHREGANY M (Massachusetts Inst. Technology, Ma.) ,  NAGARKAR P (Massachusetts Inst. Technology, Ma.) ,  SENTURIA S D (Massachusetts Inst. Technology, Ma.) ,  LANG J H (Massachusetts Inst. Technology, Ma.)
Material： Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1990  (Proc IEEE Micro Electro Mech Syst 1990)
Page： 1-8  Publication year： 1990 
JST Material Number： K19900617  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： fine patterning ,...

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JST classification (1)： Motors  (NB07030U)

Terms in the title (3)： マイクロ加工 ,  波型 ,  駆動モータ