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J-GLOBAL ID：200902045789505778   Reference number：92A0277475

Friction coefficient of Si-C, Ti-C and Ge-C coatings with excess carbon formed by plasma-assisted chemical vapour deposition.

プラズマ支援化学蒸着で作製した過剰炭素をもつSi-C,Ti-C,Ge-C被覆の摩擦係数

Author (2)： OGURI K (Toyota Central Research and Development Lab., Inc., Aichi-ken, JPN) ,  ARAI T (Toyota Central Research and Development Lab., Inc., Aichi-ken, JPN)
Material： Thin Solid Films
Volume： 208  Issue： 2  Page： 158-160  Publication year： Feb. 28, 1992 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： plasma CVD ,...
Semi thesaurus term： graphite

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JST classification (3)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Mechanical properties of solids in general  (BL01021C) ,  Vapor plating  (WC08022K)

Terms in the title (8)： プラズマ支援化学蒸着 ,  作製 ,  炭素 ,  Si ,  Ti ,  Ge ,  C被覆 ,  摩擦係数