Art

J-GLOBAL ID：200902046772410443   Reference number：91A0561550

Fabrication of assembled micromechanical components via deep X-ray lithography.

Author (7)： GUCKEL H (Univ. Wisconsin, WI) ,  SKROBIS K J (Univ. Wisconsin, WI) ,  CHRISTENSON T R (Univ. Wisconsin, WI) ,  KLEIN J (Univ. Wisconsin, WI) ,  HAN S (Univ. Wisconsin, WI) ,  CHOI B (Univ. Wisconsin, WI) ,  LOVELL E G (Univ. Wisconsin, WI)
Material： Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1991  (Proc IEEE Micro Electro Mech Syst 1991)
Page： 74-79  Publication year： 1991 
JST Material Number： K19910274  ISBN： 0-87942-642-X  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)