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J-GLOBAL ID：200902051979630854   Reference number：90A0353684

Special issue on nanotechnology organization - Philosophy and trends. Nanometer metrology.

特集 ナノテクノロジー構築最前線-その哲学と動向 解説 ナノメータオーダの計測技術の現状と将来

Author (3)： NAKAYAMA KAN (計量研) ,  TSUDA NOBUHIRO (計量研) ,  TANAKA MITSURU (計量研)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 56  Issue： 3  Page： 438-444  Publication year： Mar. 1990 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： production technology ,...

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JST classification (1)： Interferometry and interferometers  (BD07070G)

Reference (29)：

• 1) 高橋祐司 : ミクロ化技術を支える微小寸法測定技術, 日本機械学会誌, 92,853 (1989) 1034.
• 2) T. Hatsuzawa, K. Toyoda and Y. Tanimura : to be published in Rev. Sci. Instrum., 1990. 3.
• 3) C. C. Williams and H. K. Wickramasinghe : Thermal and Photothermal Imaging with High Spatial and Temperature Resolution and Future Prospects, Digest of Papers, 2nd Micro Process Conf., Kobe, (1989) 8.
• 4) K. Tanaka, T. Hasegawa, S. Hosaka, S. Hosoki and T. Komada : Tunneling Acoustic Microscope, Appl. Phys. Lett., 55, 17, (1989) 1718.
• 5) 魚住清彦 : 走査型超音波探針顕微鏡の試み, 応用物理, 58, 10 (1989) 1481.

Terms in the title (7)： ナノテクノロジー ,  構築 ,  哲学 ,  動向 ,  計測 ,  現状 ,  将来