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J-GLOBAL ID：200902058557105158   Reference number：90A0635230

Transport phenomena in vertical reactors for metalorganic vapor phase epitaxy. I. Effects of heat transfer characteristics, reactor geometry, and operating conditions.

有機金属気相エピタクシ用垂直反応器中の輸送現象 I 熱伝達特性,反応器形状および操作条件の影響

Author (3)： FOTIADIS D I (Univ. Minnesota, Minnesota, USA) ,  KIEDA S (Univ. Minnesota, Minnesota, USA) ,  JENSEN K F (Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts, USA)
Material： Journal of Crystal Growth  (J Cryst Growth)
Volume： 102  Issue： 3  Page： 441-470  Publication year： May. 1990 
JST Material Number： B0942A  ISSN： 0022-0248  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： MOCVD ,...
Semi thesaurus term： MOVPE

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JST classification (1)： Techniques and equipment of crystal growth  (BK13020B)

Terms in the title (5)： 有機金属気相エピタクシ ,  反応器 ,  輸送現象 ,  熱伝達特性 ,  操作条件