Art

J-GLOBAL ID：200902064047348919   Reference number：88A0187172

An active air bearing. Ultra-precision control of floating position and vibration.

能動空気軸受 浮上方向の位置と振動の超精密制御

Author (3)： WATANABE ICHIRO (東京工大 大学院) ,  AOYAMA HISAYUKI (東京工大 精密工研) ,  SHIMOKOBE AKIRA (東京工大 精密工研)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 54  Issue： 2  Page： 329-334  Publication year： Feb. 1988 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： air bearing ,...
Semi thesaurus term： PZT

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JST classification (1)： Bearings  (QB01020W)

Reference (4)：

• 1) 青山尚之, 渡辺一郎, 下河辺 明 : 高精度な直線運動に関する研究(第3報)-5自由度制御直動システム, 精密機械, 51, 12(1985)2277.
• 2) 金井 彰, 野村武彦, 橋本福雄, 宮下政和 : 静圧空気軸受のすきま制御による微細位置決め機構(第3報)-剛性と動特性の実験的検討, 昭和57年度精機学会春季大会学術講演会講演論文集(1982)322.
• 3) 荒木光彦 : 2自由度制御系-1-PID・微分先行型・I-PD制御系の統一的見方などについて, システムと制御, 29, 10(1985)649.
• 4) 北森俊行 : 制御対象の部分的知識に基づく制御系の設計法, 計測自動制御学会論文集, 15, 4(1979)549.

Terms in the title (3)： 空気軸受 ,  浮上 ,  精密制御