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J-GLOBAL ID：200902064731696667   Reference number：89A0418491

Optical reflectometry with micrometer resolution for the investigation of integrated optical devices.

光集積素子検査用のマイクロメータ分解能をもつ光反射測定法

Author (6)： BEAUD P (Univ. Berne, Berne, CHE) ,  SCHUETZ J (Univ. Berne, Berne, CHE) ,  HODEL W (Univ. Berne, Berne, CHE) ,  WEBER H P (Univ. Berne, Berne, CHE) ,  GILGEN H H (Technical Center PTT, Berne, CHE) ,  SALATHE R P (Technical Center PTT, Berne, CHE)
Material： IEEE Journal of Quantum Electronics  (IEEE J Quantum Electron)
Volume： 25  Issue： 4  Page： 755-759  Publication year： Apr. 1989 
JST Material Number： H0432A  ISSN： 0018-9197  CODEN： IEJQA7  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： optical integrated circuit ,...

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JST classification (1)： Optical integrated circuits,integrated optics  (BD06050D)

Terms in the title (6)： 光集積 ,  検査 ,  マイクロメータ ,  分解能 ,  光反射 ,  測定法