Art

J-GLOBAL ID：200902068568401080   Reference number：89A0284729

A six-degrees-of-freedom fine motion mechanism.

6自由度微動機構の研究

Author (5)： HENMI NOBUHIKO (東工大 大学院 総合理工学研究科) ,  WADA SHIN'ICHI (三菱化成) ,  AOYAMA HISAYUKI (静岡大 工) ,  OSADA HIDEHARU (東京工大 精密工研) ,  SHIMOKOBE AKIRA (東京工大 精密工研)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 55  Issue： 4  Page： 761-766  Publication year： Apr. 1989 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： degree of freedom ,...
Semi thesaurus term： PZT

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=89A0284729&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0268A") }}

JST classification (1)： Motion mechanism  (QB01080K)

Reference (7)：

• 1) 坂井文樹ほか : 高速走査用トンネル顕微鏡 (STM), 昭和62年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 (1987) 251.
• 2) 菊入信孝ほか : てこ式, Zチルト微動機構によるウエハの位置決め技術, 昭和63年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 (1988) 943.
• 3) 畑村洋太郎ほか : 平行平板・放射平板を用いた多軸微細位置決め機構 (第2報), 昭和62年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 (1987) 495.
• 4) 船津隆一ほか : 6自由度微動機構による超精密位置決め, 昭和62年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 (1987) 499.
• 5) A. Une et al. : High Throughput and Accuracy X-ray Stepper with Plasma Source, Proc. SPIE Electron-Beam, X-Ray and Ion-Beam, Lithographies VI, 773, (1987) 45.

Terms in the title (3)： 6自由度 ,  微動 ,  研究