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J-GLOBAL ID：200902082113951166   Reference number：90A0559435

Oxidation of TiN and Ti films.

TiN膜及びTi膜の酸化

Author (4)： MICHIZONO SHIN'ICHIRO (東大 工) ,  SAITO YOSHIO (高エネルギー物理研) ,  MATSUDA NAMIO (東京電機大) ,  KIMBARA AKIRA (東大 工)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 33  Issue： 3  Page： 340-342  Publication year： Mar. 1990 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： Titanium ,...
Semi thesaurus term： multipactor

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JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Reference (7)：

• 1) 松田七美男, 他 : 真空, 30 (1987) 446.
• 2) A. R. Nyaiesh et al. : J. vac. Sci. Technol. A4. (1986) 2356.
• 3) 松田七美男, 他 : 真空, 29 (1986) 392.
• 4) W. Pamler : Surf. Interface Anal., 13 (1988) 55.
• 5) 松田七美男, 他 : Proc. of the 7th meeting on UHV accelerators (KEK, Mar. 27-28, 1989).

Terms in the title (3)： TiN膜 ,  Ti膜 ,  酸化