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J-GLOBAL ID：200902089167832868   Reference number：91A0022059

Super-precision positioning mechanism using STM image of crystal lattice as standard.( 5th report : servo tracking circuit of a probe to the direction of sample surface. ).

結晶格子のSTM像を基準に用いた超精密位置決め機構 (第5報:試料表面方向の探針のサーボトラッキング回路)

Author (4)： KAWAKATSU HIDEKI (東大 生産技研) ,  HIGUCHI TOSHIRO (東大 生産技研) ,  HOSHI YASUO (東大 大学院) ,  KITANO HITOSHI (松下電工)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1990  Issue： Autumn 2  Page： 571-572  Publication year： Sep. 1990 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： crystal lattice ,...
Semi thesaurus term： graphite

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JST classification (1)： Optical microscopes,telescopes  (QF05050R)

Terms in the title (6)： 結晶格子 ,  STM ,  精密位置決め ,  試料表面 ,  探針 ,  トラッキング