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J-GLOBAL ID：200902091394277565   Reference number：88A0389768

The role of mass transport on anisotropic electrochemical pattern etching.

異方性電気化学的パターンエッチングに対する物質移動の役割

Author (2)： ALKIRE R (Univ. Illinois, IL, USA) ,  DELIGIANNI H (Univ. Illinois, IL, USA)
Material： Journal of the Electrochemical Society  (J Electrochem Soc)
Volume： 135  Issue： 5  Page： 1093-1100  Publication year： May. 1988 
JST Material Number： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： Copper ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (5)： 異方性 ,  電気化学 ,  エッチング ,  物質移動 ,  役割