Art

J-GLOBAL ID：200902092072761808   Reference number：90A0893179

Designing a new apparatus for measuring particle sizes on nanometer order by light-scattering (2nd Report). Measurement for foreign particles on the surface of raw Si water.

光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発 (第2報) シリコンウエハ表面付着微粒子の測定

Author (5)： MORI YUZO (大阪大 工) ,  AN HIROSHI (大阪電通大) ,  ENDO KATSUYOSHI (大阪大 工) ,  YAMAUCHI KAZUTO (大阪大 工) ,  IDE TAKASHI (愛媛大 工)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 56  Issue： 10  Page： 1847-1852  Publication year： Oct. 1990 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： optical scanning ,...
Semi thesaurus term： particle sizing

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=90A0893179&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0268A") }}

JST classification (1)： Materials of solid-state devices  (NC03020K)

Reference (4)：

• 1) M. Born and E. Wolf : Principles of Optics, Pergamon Press, Great Britain, (1980) 633-656.
• 2) 森 勇蔵ほか二光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発, 精密工学会誌, 54, 11 (1988) 100.
• 3) 林 達郎二微弱光測定用光電子増倍管, 分光研究, 22, 4 (1973) 233.
• 4) 清水慶昭, 達 保宏, 稲葉文男 : 極微弱な光情報の計測, 光学, 4, 3 (1975) 105.

Terms in the title (7)： 光散乱法 ,  ナノメータ ,  オーダ ,  粒径測定 ,  開発 ,  シリコンウエハ ,  微粒子