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J-GLOBAL ID：200902101955775590   Reference number：98A0422369

Replication Technique for Microscopic Examination of Microstructures Etched by Penning Discharge Micro-Sputtering.

ペニング放電マイクロスパッタリングにより現出した金属組織の顕微鏡観察のためのレプリカ作成技術

Author (5)： TANAKA HIDEO (金材技研) ,  NISHIKAWA EIICHI (東京理大 工) ,  ABE FUJIO (金材技研) ,  YAGI KOICHI (金材技研) ,  SUGITA TOSHIO (東京理大 工)
Material： 日本機械学会論文集 A編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series A)
Volume： 64  Issue： 619  Page： 795-800  Publication year： Mar. 1998 
JST Material Number： F0227B  ISSN： 0387-5008  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *metal structure (microstructure) ,...
Semi thesaurus term： SEM

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JST classification (1)： Metallography  (WB01010R)

Reference (11)：

• 桑原和夫. 損傷の実態と非破壊検査技術シンポジウム論文集. 1984, 157
• 目時吉擴. 火力原子力発電. 1990, 41, 1071
• 栗山凌治. 火力原子力発電. 1989, 40, 421
• 瀬戸口克哉. 日本材料学会, 第22回高温強度シンポジウム. 1984
• 藤山一成. 材料. 1988, 37, 315

Terms in the title (7)： ペニング放電 ,  マイクロ ,  スパッタリング ,  金属組織 ,  顕微鏡観察 ,  レプリカ ,  作成技術