Art

J-GLOBAL ID：200902102194749987   Reference number：96A0655030

Production of sheet plasma using a TP-D plasma source.

TP-Dプラズマ源を用いたシートプラズマ生成

Author (5)： SUNAKO K (Tokai Univ., Kanagawa, JPN) ,  NANRI K (Tokai Univ., Kanagawa, JPN) ,  NOGUCHI T (Tokai Univ., Kanagawa, JPN) ,  YABE E (Tokai Univ., Kanagawa, JPN) ,  TAKAYAMA K (Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
Material： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
Volume： 111  Issue： 1/2  Page： 151-156  Publication year： Apr. 1996 
JST Material Number： H0899A  ISSN： 0168-583X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： magnetized plasma ,...
Semi thesaurus term： sheet plasma

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JST classification (2)： Plasma devices  (BJ02082I) ,  Plasma in general  (BJ02010B)

Terms in the title (3)： TP ,  プラズマ源 ,  プラズマ生成