Art

J-GLOBAL ID：200902103108736505   Reference number：00A0294194

Maskless Metal Patterning on Polyimide Substrate Using Laser-Enhanced Electroless Nickel Plating.

レーザ無電解ニッケルめっきによるポリイミド基板上のマスクレスパターン形成

Author (3)： MAKINO EIJI (北大 大学院) ,  TAKAGI OSAMU (北大 大学院) ,  SHIBATA TAKAYUKI (北大 大学院)
Material： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
Volume： 51  Issue： 2  Page： 199-205  Publication year： Feb. 01, 2000 
JST Material Number： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *electroless plating ,...

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JST classification (2)： Surface treatment  (YH04112X) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (22)：

• GROSS, M. E. J. Appl. Phys. 1986, 60, 529
• COLE, H. S. Apply. Phys. Lett. 1988, 53, 2111
• MAKINO, E. J. Micromech. Microeng. 1998, 8
• JACKSON, R. J. J. Electrochem. Soc. 1988, 135, 3172
• 西川治良. 表面技術. 1989, 40, 675

Terms in the title (5)： レーザ ,  無電解ニッケルめっき ,  ポリイミド ,  マスクレス ,  パターン形成