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J-GLOBAL ID：200902104304030587   Reference number：94A0956828

Influence of Electron Injection on Characteristics of rf Sheath Structure in rf Plasma.

電子注入による高周波放電プラズマのシース構造変化

Author (5)： SATO NAOYUKI (茨城大 工) ,  KOBAYASHI HIDEO (茨城大 工) ,  TANABE TOSHIO (茨城大 工) ,  IKEHATA TAKASHI (茨城大 工) ,  MASE HIROSHI (茨城大 工)
Material： プラズマ・核融合学会秋季講演会予稿集
Volume： 11th  Page： 177  Publication year： Oct. 1994 
JST Material Number： Y0876A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： 電子注入 ,  高周波放電 ,  プラズマ ,  シース ,  構造変化