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J-GLOBAL ID：200902104925295754   Reference number：02A0698137

A Study of Capacitively Coupled Plasma Generation in Single-Loop Antennas.

単ループアンテナの容量結合プラズマ生成

Author (3)： SHINDO H (Tokai Univ., Hiratsuka, JPN) ,  KUDO D (Tokai Univ., Hiratsuka, JPN) ,  FUJII S (ADTEC Plasma Technol. Co., Ltd., Fukuyama, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters & Express Letters)
Volume： 41  Issue： 8B  Page： L956-L959  Publication year： Aug. 15, 2002 
JST Material Number： F0599B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *inductively coupled plasma ,...

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JST classification (1)： Plasma production and heating  (BJ02060E)

Reference (9)：

• 1) Y. Horiike, H. Okano, T. Yamazaki and H. Horie: Jpn. J. Appl. Phys. 20 (1981) L819.
• 2) K. Suzuki, S. Okudaira, N. Sakudo and I. Kanomata: Jpn. J. Appl. Phys. 16 (1977) 1979.
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• 5) T. Uchida: Jpn. J. Appl. Phys. 33 (1994) L43.

Terms in the title (2)： ループアンテナ ,  容量結合プラズマ