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J-GLOBAL ID：200902106450600789   Reference number：96A0948618

Observation of initial stage of Si growth on ultrasmooth sapphire substrates.

Si/超平坦サファイアにおけるSi成長初期段階の観察

Author (8)： YANAGIYA SHUN'ICHI (豊橋技科大) ,  FUJII MASAKI (豊橋技科大) ,  ISHIDA MAKOTO (豊橋技科大) ,  ONISHI TSUYOSHI (東京工大) ,  YOSHIDA KENJI (東京工大) ,  SASAKI KENJI (東京工大) ,  YOSHIMOTO MAMORU (東京工大) ,  KOINUMA HIDEOMI (東京工大)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 57th  Issue： 1  Page： 274  Publication year： Sep. 1996 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (6)： Si ,  平坦 ,  サファイア ,  成長 ,  初期段階 ,  観察