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J-GLOBAL ID：200902108506574665   Reference number：93A0610332

DLTS measurements of silicon wafers. (III).

シリコンウェーハのDLTS測定 (III)

Author (6)： KATO ISAO (愛知工大) ,  HIRANO MANAMI (愛知工大) ,  OKAMOTO TETSUAKI (愛知工大) ,  KATAYAMA MASAYUKI (日本電装) ,  TOKUDA YUTAKA (愛知工大) ,  HATTORI TADASHI (日本電装)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 40th  Issue： Pt 1  Page： 302  Publication year： Mar. 1993 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (2)： シリコンウェーハ ,  DLTS