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J-GLOBAL ID：200902108737448786   Reference number：94A0372527

A microstructural study of low resistivity tin-doped indium oxide prepared by d.c. magnetron sputtering.

直流マグネトロンスパッタで作製した低抵抗のすずドープ酸化インジウムの微細構造

Author (2)： SHIGESATO Y (Brown Univ., RI, USA) ,  PAINE D C (Brown Univ., RI, USA)
Material： Thin Solid Films
Volume： 238  Issue： 1  Page： 44-50  Publication year： Jan. 15, 1994 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： magnetron sputtering ,...
Semi thesaurus term： ITO(solid solution)

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (8)： 直流 ,  マグネトロンスパッタ ,  作製 ,  低抵抗 ,  すず ,  ドープ ,  酸化インジウム ,  微細構造