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J-GLOBAL ID：200902108816732325   Reference number：99A0666888

Nanoindentation of a 10nm thick thin film.

厚さ10nmの薄膜のナノインデンテーション

Author (4)： SAWA T (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN) ,  AKIYAMA Y (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN) ,  SHIMAMOTO A (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN) ,  TANAKA K (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN)
Material： Journal of Materials Research  (J Mater Res)
Volume： 14  Issue： 6  Page： 2228-2232  Publication year： Jun. 1999 
JST Material Number： D0987B  ISSN： 0884-2914  CODEN： JMREEE  Document type： Article
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (2)： 薄膜 ,  ナノインデンテーション