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J-GLOBAL ID：200902109426758150   Reference number：97A0400508

Gold-carbon composite thin films for electrochemical gas sensor prepared by reactive plasma sputtering.

反応性プラズマスパッタリングで造った電気化学的ガスセンサ用の金-炭素複合薄膜

Author (5)： OKAMOTO A (Technology Res. Inst. Osaka Prefecture, Osaka, JPN) ,  SUZUKI Y (Technology Res. Inst. Osaka Prefecture, Osaka, JPN) ,  YOSHITAKE M (Technology Res. Inst. Osaka Prefecture, Osaka, JPN) ,  OGAWA S (Technology Res. Inst. Osaka Prefecture, Osaka, JPN) ,  NAKANO N (RIKEN KEIKI Co. Ltd., Tokyo, JPN)
Material： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
Volume： 121  Issue： 1/4  Page： 179-183  Publication year： Jan. 1997 
JST Material Number： H0899A  ISSN： 0168-583X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： thin film growth ,...

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JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Analytical instruments  (CC02020S)

Terms in the title (7)： 反応性プラズマ ,  スパッタリング ,  電気化学 ,  ガスセンサ ,  金 ,  炭素 ,  薄膜