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J-GLOBAL ID：200902110486580528   Reference number：95A0555449

Patterning of Integrated-type a-Si Solar Cell Submodules by Plasma CVM. (1).

プラズマCVM法による集積型a-Si太陽電池のパターニングに関する研究 (1)

Author (8)： MORI YUZO (大阪大 工) ,  SANO YASUHISA (大阪大 工) ,  KIYAMA SEIICHI (三洋電機) ,  NAKANO SHINGO (三洋電機) ,  DOMOTO YOICHI (三洋電機) ,  YAMAMOTO YOSHIAKI (三洋電機) ,  TSUDA SHIN'YA (三洋電機) ,  NAKANO SHOICHI (三洋電機)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 42nd  Issue： Pt 2  Page： 850  Publication year： Mar. 1995 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： プラズマCVM ,  集積 ,  a-Si太陽電池 ,  パターニング ,  研究