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J-GLOBAL ID：200902111122026718   Reference number：97A0477003

A modeling of CF4 RF-CCP by two term approximation of the Boltzmann Equation.

Boltzmann方程式の2項近似によるCF₄ RF-CCPモデリング

Author (4)： KURIHARA MASARU (慶応大 理工) ,  MATSUI JUN (慶応大 理工) ,  NAKANO NOBUHIKO (慶応大 理工) ,  MAKABE TOSHIAKI (慶応大 理工)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 44th  Issue： 1  Page： 12  Publication year： Mar. 1997 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (3)： Boltzmann方程式 ,  近似 ,  モデリング