Art

J-GLOBAL ID：200902113806623548   Reference number：01A0329270

円筒形マグネトロンガスフロースパッタリング源を用いたCNx薄膜の形成 フローガス種による光学的特性変化

Author (7)： TAKEDA MOTONORI (東海大 工) ,  KOMIYA HIROKAZU (東海大 工) ,  IWASE MITSUO (東海大 工) ,  NAKADA MASAAKI (東京工高専) ,  ICHINOHE TAKAHISA (東京工高専) ,  MASAKI SUSUMU (東京工高専) ,  MORISAKI HIROSHI (電通大)
Material： 粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム  (Proceedings of the Symposium on Beam Engineering of Advanced Material Syntheses)
Volume： 11th  Page： 69-72  Publication year： Nov. 21, 2000 
JST Material Number： L2435A  ISSN： 0919-3308  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (4)： 薄膜 ,  フロー ,  ガス種 ,  光学的特性