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J-GLOBAL ID：200902114366837121   Reference number：01A0426405

Micromachined Tools for Nano Technology. Twin Nano-Probes and Nano-Scale Gap Control by Integrated Microactuators.

ナノ技術のためのマイクロ加工されたツール 統合マイクロアクチュエータによる2組のナノプローブおよびナノスケール隙間制御

Author (7)： KAKUSHIMA K (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  MITA M (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  KOBAYASHI D (Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN) ,  HASHIGUCHI G (Kagawa Univ., Kagawa, JPN) ,  ENDO J (Hitachi LTD., Saitama, JPN) ,  WADA Y (Hitachi LTD., Saitama, JPN) ,  FUJITA H (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
Material： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems)
Volume： 14th  Page： 294-297  Publication year： 2001 
JST Material Number： W0377A  ISSN： 1084-6999  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *micromachining ,...
Semi thesaurus term： マイクロ熱膨張アクチュエータ

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Other control equipment  (IC02040U)

Terms in the title (6)： マイクロ加工 ,  ツール ,  統合 ,  マイクロアクチュエータ ,  ナノプローブ ,  ナノスケール