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J-GLOBAL ID：200902115124301983   Reference number：93A0894412

Recent Research Topics of Micro Actuators.

マイクロアクチュエータの最近の動向

Author (2)： FUKUDA TOSHIO (名古屋大 工) ,  ARAI FUMIHITO (名古屋大 工)
Material： 日本機械学会誌  (Journal of the Japan Society of Mechanical Engineers)
Volume： 96  Issue： 899  Page： 868-871  Publication year： Oct. 1993 
JST Material Number： F0228A  ISSN： 0021-4728  CODEN： NKGKA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： actuator ,...
Semi thesaurus term： magnetostriction ,...

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JST classification (1)： Electric control equipment  (IC02020Y)

Reference (5)：

• FUKUDA, T. Microrobotics-Approach to the Realization. Micro System Technologies '92. 1992, 15
• 江刺. マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス. 1992
• 内野. 圧電/電歪アクチュエータ. 1986, 202
• FUKUDA, T. Optical Servo System Using Bimorph Optical Piezo-electric Actuator. Proc. Third Int. Symp. on Micro Machine and Human Science (MHS '92). 1992, 45
• BATES, J. B. Rechargeable Solid State Lithium Microbatteries. Proc. Micro Electro Mechanical Systems. 1993, 82

Terms in the title (2)： マイクロアクチュエータ ,  動向