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J-GLOBAL ID：200902115454687314   Reference number：96A0258479

Micromachines Made by Silicon Technology. Integrated Sensor and Actuator Systems by Micromaching.

シリコン技術で作られる小さな機械 マイクロマシニングによる集積化センサ・アクチュエータシステム

Author (1)： ESASHI MASAYOSHI (東北大 工)
Material： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
Volume： 62  Issue： 594  Page： 417-422  Publication year： Feb. 1996 
JST Material Number： F0045B  ISSN： 0387-5024  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： silicon ,...

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JST classification (2)： Measuring instruments in general  (AD02000X) ,  Medical instruments and apparatuses  (GA05020L)

Reference (13)：

• 江刺正喜. マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス. 1992
• TERRY, S. C. A Gas Chromatographic Air Analyze Fabricated on a Silicon Wafer. IEEE Trans. on Electron Devices. 1979, ED-26, 1880-1886
• TEW, C. Electronic Control of a Digital Micromirror Device for Projection Displays. Proc. of IEEE International Solid-State Circuits Conf. 1994, 130-131
• MATSUMOTO, Y. Integrated Silicon Capacitive Accelerometer with PLL Servo Technique. Sensors and Actuators. 1993, A39, 209-217
• JONO, K. An Electrostatic Servo-type Three-axis Silicon Accelerometer. Meas. Sci. Technol. 1994, 6, 11-15

Terms in the title (4)： シリコン ,  マイクロマシニング ,  集積化 ,  アクチュエータ