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J-GLOBAL ID：200902115688379761   Reference number：99A0512493

Electron Emission Characteristics of Niobium Nitride Field Emitters Prepared by Ion Beam Assisted Deposition.

イオンビームアシスト蒸着法により作製した窒化ニオブフィールドエミッタの電子放出特性

Author (5)： GOTO YASUHITO (京大 大学院) ,  NAGAO MASAYOSHI (京大 大学院) ,  URA TOSHIYUKI (京大 大学院) ,  TSUJI HIROSHI (京大 大学院) ,  ISHIKAWA JUNZO (京大 大学院)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 42  Issue： 3  Page： 309-312  Publication year： Mar. 20, 1999 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *niobium compound ,...
Semi thesaurus term： *negative electrode ,...

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JST classification (2)： Thermoionic emission and field emission  (BM09020S) ,  Other solid-state devices  (NC03150A)

Reference (7)：

• TOTH, L. E. Transition Metal Carbides and Nitrides. 1971, 102
• 後藤康仁. 真空. 1997, 40, 279
• NAGAO, M. J. Vac. Sci. Technol. 1998, B16, 829
• ENDO, M. J. Vac. Sci. Technol. 1996, 14, 2114
• 後藤康仁. 真空(第39回連合講演会プロシーディングス)

Terms in the title (5)： イオンビームアシスト蒸着 ,  作製 ,  窒化ニオブ ,  フィールドエミッタ ,  電子放出