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J-GLOBAL ID：200902115765237010   Reference number：97A0719268

Cobalt doping in BaTiO₃ thin films by two-target pulsed KrF laser ablation with in situ laser annealing.

その場レーザアニーリングを備えた二個のターゲットからのパルスKrFレーザアブレーション装置によるBaTiO₃薄膜へのコバルトドーピング

Author (3)： ITO A (Keio Univ., Yokohama, JPN) ,  MACHIDA A (Keio Univ., Yokohama, JPN) ,  OBARA M (Keio Univ., Yokohama, JPN)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 70  Issue： 25  Page： 3338-3340  Publication year： Jun. 23, 1997 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： barium titanate ,...

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JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Laser irradiation effects and damages  (BK16040S)

Terms in the title (9)： レーザアニーリング ,  ターゲット ,  パルス ,  KrFレーザ ,  アブレーション ,  BaTiO3 ,  薄膜 ,  コバルト ,  ドーピング