Art

J-GLOBAL ID：200902118494178543   Reference number：93A0707330

Preparation of LaNiO₃ Perovskite Films Using Radio Frequency Magnetron Sputtering.

高周波マグネトロンスパッタリング法を用いたLaNiO₃ペロブスカイト薄膜の作製

Author (7)： YAMADA SATOSHI (帝京大 理工) ,  NENNO SOJI (帝京大 理工) ,  MATSUMOTO YASUMICHI (熊本大 工) ,  HOMBOU JUKICHI (熊本大 工) ,  SATO EIICHI (宇都宮大 工) ,  SHIRAKASHI TAKASHI (宇都宮大 工) ,  YOSHIHARA SACHIO (宇都宮大 工)
Material： 電気化学および工業物理化学  (Electrochemistry)
Volume： 61  Issue： 8  Page： 1011-1013  Publication year： Aug. 1993 
JST Material Number： G0072A  ISSN： 1344-3542  CODEN： EECTFA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： inorganic material ,...
Semi thesaurus term： STM【顕微鏡】

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JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Bases,metal oxides  (CD01030Z)

Terms in the title (5)： 高周波マグネトロンスパッタリング ,  LaNiO3 ,  ペロブスカイト ,  薄膜 ,  作製