Art
J-GLOBAL ID：200902119742259381   Reference number：99A0549297

Properties of aluminum nitride thin films for piezoelectric transducers and microwave filter applications.

ピエゾ電気トランスデューサに対する窒化アルミニウム薄膜の特性とマイクロ波フィルタへの応用
Author (2)：
DUBOIS M-A

About DUBOIS M-A

(Swiss Federal Inst. Technol., Lausanne, CHE)

About Swiss Federal Inst. Technol., Lausanne, CHE

, 
MURALT P

About MURALT P

(Swiss Federal Inst. Technol., Lausanne, CHE)

About Swiss Federal Inst. Technol., Lausanne, CHE


Material：
Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)

About Applied Physics Letters


Volume： 74  Issue： 20  Page： 3032-3034  Publication year： May. 17, 1999 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)
Thesaurus term：
Thesaurus term/Semi thesaurus term
Keywords indexed to the article.
All keywords is available on JDreamIII(charged).
On J-GLOBAL, this item will be available after more than half a year after the record posted. In addtion, medical articles require to login to MyJ-GLOBAL.
*pyroelectricity

About pyroelectricity

,...
   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=99A0549297&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=H0613A") }}
JST classification (2)：
JST classification
Category name(code) classified by JST.
Piezoelectricity,pyroelectricity,electret 
(BM05040M)

About Piezoelectricity,pyroelectricity,electret

,  Piezoelectric devices 
(NC03110I)

About Piezoelectric devices

Terms in the title (6)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
ピエゾ電気

About ピエゾ電気

, 
トランスデューサ

About トランスデューサ

, 
窒化アルミニウム

About 窒化アルミニウム

, 
薄膜

About 薄膜

, 
マイクロ波フィルタ

About マイクロ波フィルタ

, 
応用

About 応用


Return to Previous Page

TOP

BOTTOM