Art

J-GLOBAL ID：200902120112345784   Reference number：99A0584322

Development of Ultraprecision Micro Grooving. Manufacture of V-Shaped Groove.

超精密マイクロ溝加工の研究 V形状格子溝の製作

Author (4)： SAWADA KIYOSHI (ファナック) ,  KAWAI TOMOHIKO (ファナック) ,  TAKEUCHI YOSHIMI (電通大) ,  SATA TOSHIO (豊田工大)
Material： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
Volume： 64  Issue： 627  Page： 4440-4446  Publication year： Nov. 1998 
JST Material Number： F0045B  ISSN： 0387-5024  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *milling machine ,...
Semi thesaurus term： machining accuracy

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JST classification (1)： Milling  (QC02030R)

Reference (13)：

• 薄木雅雄. ポリゴンミラーの超精密切削. オプトメカトロニクス時代の超精密切削技術. 1991, 72-83
• 田中克敏. 最新の超精密加工技術. 日本機械学会東海支部第41回総会講論. 1992, 293-1, 9-12
• 藤田博之. マイクロマシンの世界. 1992, 13-29
• 増沢隆久. マイクロマシニングの研究と手法. 精密工学会誌. 1994, 60-1, 13-15
• 佐藤一雄. 単結晶シリコンの異方性エッチング技術. 精密工学会誌. 1987, 53-6, 849-852

Terms in the title (7)： 超精密 ,  マイクロ ,  溝加工 ,  研究 ,  V形状 ,  格子 ,  製作