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J-GLOBAL ID：200902023083266157   Reference number：87A0359170

Anisotropic etching of single crystal silicon.

単結晶Siの異方性エッチング技術

Author (1)： SATO KAZUO (日立)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 53  Issue： 6  Page： 849-852  Publication year： Jun. 1987 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： single crystal ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (10)：

• 1) K. E. Petersen : Silicon as a Mechanical Material, Proc. IEEE, 70, 5, (1982) 420.
• 2) 佐藤一雄, 田中伸司, 河村喜雄, 寺澤恒男 : Siを用いたマイクロメカニクスの研究(第1報), 昭和61年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(1986) 751.
• 3) B. E. Burns, P. W. Barth & J. B. Angell : Fabrication Technology for a Chronic in-Vivo Pressure Sensor, Tech. Dig. IEEE IEDM, (1984) 210.
• 4) 高梨明紘, 佐藤一雄 : エレクトロニクスにおける微細加工技術の展望と波及効果, 電子技術, 26, 9 (1984) 18.
• 5) 田中伸司, 寺澤恒男, 佐藤一雄, 河村喜雄, 鶴岡久 : Siを用いたマイクロメカニクスの研究(第4報), 昭和62年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集(1987) 845.

Terms in the title (2)： 単結晶Si ,  異方性エッチング技術