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J-GLOBAL ID：200902120473243714   Reference number：98A0973686

Application to working by electrochemical reaction between metal, semiconductor, and hydroxyl ion and by ultrapure water ( the first report ).

金属・半導体と水酸イオンの電気化学反応及び超純水による加工への応用 (第1報)

Author (5)： MORI YUZO (大阪大 大学院) ,  GOTO HIDEKAZU (大阪大 大学院) ,  HIROSE KIKUJI (大阪大 大学院) ,  OBATA GENKI (大阪大 大学院) ,  TOUMA YASUSHI (荏原製作所)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1998  Issue： 秋季  Page： 443  Publication year： Sep. 1998 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Reference (1)：

• 佐藤敏一. 特殊加工. 1992, 206

Terms in the title (4)： 水酸イオン ,  電気化学反応 ,  純水 ,  応用