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J-GLOBAL ID：200902120504553806   Reference number：01A0496915

21世紀を支える表面技術 形状記憶合金スパッタ膜 最近の話題

Author (3)： SAWAGUCHI TAKAHIRO (金材技研) ,  SATO MORIO (金材技研) ,  ISHIDA AKIRA (金材技研)
Material： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
Volume： 52  Issue： 1  Page： 76-77  Publication year： Jan. 01, 2001 
JST Material Number： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *shape memory alloy ,...

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JST classification (3)： Control equipment in general  (IC02010N) ,  Metallic thin films  (BK14030T) ,  Other metallography  (WB01040Y)

Reference (11)：

• 1) 藤田博之; マイクロマシンの世界 (工業調査会, 1992)
• 2) 石田章, 武井厚, 宮崎修一; 表面技術, 46, 628 (1995)
• 3) A. Ishida, A. Takei, and S. Miyazaki; Thin Solid Films, 228, 210 (1993)
• 4) 石田章; 金属学会誌, まてりあ (2000), 印刷中
• 5) E. Makino, T. Mitsuya, and T. Shibata; Sensors and Actuators, 79, 128 (2000)

Terms in the title (4)： 21世紀 ,  形状記憶合金 ,  スパッタ膜 ,  話題