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J-GLOBAL ID：200902167349276457   Reference number：95A0660906

Recent Trends of PVD and CVD. Shape Memory Thin Films.

PVDおよびCVDの新しい展開 形状記憶合金薄膜

Author (3)： ISHIDA AKIRA (金材技研) ,  TAKEI ATSUSHI (金材技研) ,  MIYAZAKI SHUICHI (筑波大 物質工学系)
Material： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
Volume： 46  Issue： 7  Page： 628-631  Publication year： Jul. 1995 
JST Material Number： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： sputtered deposition ,...

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JST classification (2)： Vapor plating  (WC08022K) ,  Other metallography  (WB01040Y)

Reference (14)：

• 藤正巖. 驚異の医療機械マイクロマシン. 1990
• 藤田博之. マイクロマシンの世界. 1992
• 宮崎修一. 形状記憶合金薄膜. 金属. 1993, 3, 9
• 石田章. 形状記憶合金薄膜. 身近な機能膜のはなし. 1994, 86
• JOHNSON, A. D. J. Micromech. Microeng. 1991, 1, 34

Terms in the title (5)： PVD ,  CVD ,  展開 ,  形状記憶 ,  合金薄膜