Art

J-GLOBAL ID：200902121914988016   Reference number：96A1017287

Cleaning and polishing as key steps for smart-cut SOI process.

Author (9)： MORICEAU H (CEA/G, Grenoble) ,  MALEVILLE C (CEA/G, Grenoble) ,  CARTIER A M (CEA/G, Grenoble) ,  ASPAR B (CEA/G, Grenoble) ,  SOUBIE A (CEA/G, Grenoble) ,  BRUEL M (CEA/G, Grenoble) ,  POUMEYROL T (CEA/G, Grenoble) ,  METRAL F (SOITEC SA, Grenoble) ,  AUBERTON-HERVE A J (SOITEC SA, Grenoble)
Material： Proceedings. IEEE International SOI Conference  (Proc IEEE Int SOI Conf)
Volume： 1996  Page： 152-153  Publication year： 1996 
JST Material Number： W0784A  ISSN： 1078-621X  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (2)： SMART ,  SOI