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J-GLOBAL ID：200902124202428714   Reference number：00A0304857

A Shape Error Measurement with High Spatial Resolution Using the Change in the Reflected Angles and the Phase Shift Method.

反射角の変化と位相シフト法を用いた空間分解能の高い形状誤差測定法

Author (5)： NOMURA TAKASHI (富山県大 工) ,  KAMIYA KAZUHIDE (富山県大 工) ,  LI Y (大連理工大) ,  TASHIRO HATSUZO (富山大 工) ,  YOSHIKAWA KAZUO (富山大 工)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 66  Issue： 3  Page： 446-450  Publication year： Mar. 05, 2000 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： reflecting mirror ,...

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JST classification (2)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O) ,  Other optical instruments and techniques  (BD07080R)

Reference (8)：

• HARIHARAN, P. Basics of Interferometry. 1991, 1
• 山本将之. 格子パターン投影法を用いた反射物体の表面形状計測. 精密工学会誌. 1998, 64, 7, 1171
• 山本将之. 格子パターン投影法を用いた反射物体の表面形状計測(第2報)-楕円面鏡の計測-. 精密工学会誌. 1999, 65, 8, 1111
• MALACARA, D. Optical Shop Testing. 1992, 265
• 河野嗣男. ハルトマンテストによるオンマシンインプロセス計測. O plus E. 1999, 21, 4, 393

Terms in the title (5)： 反射角 ,  位相シフト ,  空間分解能 ,  形状誤差 ,  測定法