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J-GLOBAL ID：200902124258695030   Reference number：97A0043524

Research on polishing processing at Plasma CVM (Chemical Vaporization Machining). (First report). Trial manufacture of a high-speed rotation type electrode for polishing processing and its processing characteristics.

Plasma CVM(Chemical Vaporization Machining)におけるポリシング加工に関する研究 (第1報) ポリシング加工用高速回転型電極の試作とその加工特性

Author (4)： MORI YUZO (大阪大 大学院) ,  YAMAUCHI KAZUHITO (大阪大 大学院) ,  YAMAMURA KAZUYA (大阪大 大学院) ,  SANO YASUHISA (大阪大 大学院)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1996  Issue： Spring 3  Page： 1145-1146  Publication year： Mar. 1996 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Reference (2)：

• 森勇藏. 極限精密加工技術. 精密工学会誌. 1991, 57, 1, 36
• MORI, Y. Plasma CVM(Chemical Vaporization Machining) -an ultra precision machining technique using highpressure reactive plasma-. Nanotechnology. 1993, 4, 225

Terms in the title (6)： CVM ,  ポリシング加工 ,  研究 ,  高速回転 ,  試作 ,  加工特性