Art

J-GLOBAL ID：200902126882589930   Reference number：94A0318692

Developments in Micromachining.

マイクロマシニングの動向

Author (1)： ESASHI MASAYOSHI (東北大 工)
Material： 日本機械学会誌  (Journal of the Japan Society of Mechanical Engineers)
Volume： 97  Issue： 905  Page： 286-289  Publication year： Apr. 1994 
JST Material Number： F0228A  ISSN： 0021-4728  CODEN： NKGKA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： micromachining ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=94A0318692&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0228A") }}

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (9)：

• 江刺. マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス. 1992
• MATSUMOTO, Y. Integrated Capacitive Accelerometer with Novel Electrostatic Force Balancing. Tech. Digest 11th Sensor Symp. 1992, 47
• 橋本. 静電サーボ型多軸加速度センサ,次世代センサ協議会. マイクロマシーニング研究会. 1993, 81
• CABUZ, C. Highly Sensitive Resonant Infrared Sensor. Proc. Transducers '93. 1993, 694
• HENMI, H. Vacuum Packaging for Micro Sensors by Glass-silicon Anodic Bonding. Proc. Transducers '93. 1993, 584

Terms in the title (2)： マイクロマシニング ,  動向