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J-GLOBAL ID：200902127040141911   Reference number：00A0407708

Development of SPV (Surface Photo-voltage) Spectroscopy to Observe Finely-prepared Surfaces by Ultraprecision Machining Processes.

SPV (Surface Photo-voltage)スペクトロスコピーによる超精密加工表面評価法の開発

Author (6)： YAMAUCHI KAZUTO (大阪大 大学院) ,  SUGIYAMA KAZUHISA (大阪大 大学院) ,  INAGAKI KOJI (大阪大 大学院) ,  YAMAMURA KAZUYA (大阪大 大学院) ,  SANO YASUHISA (大阪大 大学院) ,  MORI YUZO (大阪大 大学院)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 66  Issue： 4  Page： 630-634  Publication year： Apr. 05, 2000 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *surface roughness ,...
Semi thesaurus term： surface evaluation

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (14)：

• 森勇藏. 極限精密加工技術. 精密工学会誌. 1991, 57, 1, 36
• 森勇藏. EEM(Elastic Emission Machining)による超精密数値制御加工に関する研究. 精密機械. 1983, 49, 11, 1540
• 森勇藏. EEM(Elastic Emission Machining)による超精密数値制御加工. 精密機械. 1985, 51, 5, 1033
• MORI, Y. Elastic Emission Machining. Precision Engineering. 1987, 9, 123
• MORI, Y. Removal Mechanism in Elastic Emission Machining. Prec. Eng. 1988, 10, 24

Terms in the title (4)： スペクトロスコピー ,  超精密加工 ,  評価法 ,  開発