Art

J-GLOBAL ID：200902127520515498   Reference number：00A0718624

Broadband Antireflection Gratings for Glass Substrates Fabricated by Fast Atom Beam Etching.

高速原子ビームエッチングによって作製されたガラス基板に対する広帯域無反射コーティング

Author (3)： KANAMORI Y (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KIKUTA H (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  HANE K (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters & Express Letters)
Volume： 39  Issue： 7B  Page： L735-L737  Publication year： Jul. 15, 2000 
JST Material Number： F0599B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *diffraction grating ,...

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JST classification (1)： Optical devices in general  (BD06010L)

Reference (26)：

• 1) J. Zhao, A. Wang, E. Abbaspour-Sani, F. Yun and M. A. Green: IEEE Electron Device Lett. 18 (1997) 48.
• 2) J. Zhao and M. A. Green: IEEE Trans. Electron Devices 38 (1991) 1925.
• 3) P. Nubile: Thin Solid Films 342 (1999) 257.
• 4) P. Lalanne and G. M. Morris: Proc. SPIE 2776 (1996) 300.
• 5) M. A. Green, A. W. Blakers, J. Zhao, A. M. Milne, A. Wang and X. Dai: IEEE Trans. Electron Devices 37 (1990) 331.

Terms in the title (7)： 原子ビーム ,  エッチング ,  作製 ,  ガラス基板 ,  広帯域 ,  無反射 ,  コーティング