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J-GLOBAL ID：200902127628446743   Reference number：94A0274177

Preparation of the Lanthanum Complex Oxide Films Using Radio Frequency Magnetron Sputtering and Their Electrical Conductivities.

高周波マグネトロンスパッタリング法を用いたLa含有複合酸化物薄膜の作製と電気導電性

Author (8)： YAMADA SATOSHI (帝京大 理工) ,  NENNO SOJI (帝京大 理工) ,  MATSUMOTO YASUMICHI (熊本大 工) ,  INDAYANINGSIH N (熊本大 工) ,  HOMBOU JUKICHI (熊本大 工) ,  SATO EIICHI (宇都宮大 工) ,  SHIRAKASHI TAKASHI (宇都宮大 工) ,  YOSHIHARA SACHIO (宇都宮大 工)
Material： 電気化学および工業物理化学  (Electrochemistry)
Volume： 62  Issue： 3  Page： 246-250  Publication year： Mar. 1994 
JST Material Number： G0072A  ISSN： 1344-3542  CODEN： EECTFA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： inorganic material ,...
Semi thesaurus term： STM【顕微鏡】

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JST classification (3)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Electric conduction in other inorganic compounds  (BM03044O) ,  Bases,metal oxides  (CD01030Z)

Terms in the title (5)： 高周波マグネトロンスパッタリング ,  LA ,  酸化物薄膜 ,  作製 ,  導電性