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J-GLOBAL ID：200902128639693463   Reference number：96A0642927

Hydrogen-free amorphous carbon films approaching diamond prepared by magnetron sputtering.

マグネトロンスパッタリングによって作製されたダイヤモンドに近い水素フリー非晶質炭素膜
Author (1)：
LOGOTHETIDIS S

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(Aristotle Univ. Thessaloniki, Thessaloniki, GRC)

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Material：
Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)

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Volume： 69  Issue： 2  Page： 158-160  Publication year： Jul. 08, 1996 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)
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Carbon

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Semiconductor thin films 
(BK14040E)

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