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J-GLOBAL ID：200902129001329558   Reference number：99A0512481

Synthesis and Characterization of Ceramics TiN/CrN Multi-layer Thin Films by Arc Ion Plating.

イオンプレーティング法によるセラミックスTiN/CrN積層薄膜の合成と評価

Author (4)： TAMAOKA KATSUYASU (龍谷大 大学院) ,  ENOKI KOICHI (龍谷大 理工) ,  AOI YOSHIFUMI (龍谷大 理工) ,  KAMIJO EIJI (龍谷大 理工)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 42  Issue： 3  Page： 265-268  Publication year： Mar. 20, 1999 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *titanium compound ,...

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JST classification (2)： Glass and ceramic coating in general  (YC02010D) ,  Mechanical properties of solids in general  (BL01021C)

Reference (4)：

• 中山明. 真空. 1994, 30, 55
• HELMERSON, U. J. Appl. Phys. 1987, 62, 481
• PANJAN, P. Surface and Coating Technology. 1998, 98, 1497
• 矢田雅規. 応用物理. 1990, 59, 1604

Terms in the title (5)： イオンプレーティング法 ,  セラミックス ,  TiN ,  薄膜 ,  評価