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J-GLOBAL ID：200902129118926867   Reference number：94A0375025

Soft Magnetic Properties of Highly Resistive Co-Al-N Alloy Films.

高抵抗Co-Al-N系膜の軟磁気特性

Author (8)： ONUMA SHIGEHIRO (アモルファス・電子デバイス研) ,  FURUKAWA SHINJI (アモルファス・電子デバイス研) ,  MATSUMOTO FUMIO (アモルファス・電子デバイス研) ,  FUJIMORI HIROYASU (東北大 金材研) ,  TAKAHIRO KATSUMI (東北大 金材研) ,  NAGATA SHINJI (東北大 金材研) ,  YAMAGUCHI SADAE (東北大 金材研) ,  MASUMOTO TAKESHI (東北大 金材研)
Material： 日本応用磁気学会誌  (Journal of the Magnetics Society of Japan)
Volume： 18  Issue： 2  Page： 303-308  Publication year： Apr. 1994 
JST Material Number： Z0944A  ISSN： 0285-0192  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： electric resistance ,...

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JST classification (2)： Magnetic properties of metals  (BM06040T) ,  Metallic thin films  (BK14030T)

Reference (8)：

• 1) M. Hayashide, S. Ohnuma, F. Matsumoto, H. Fujimori and T. Masumoto: IEEE Trans. Magn., 7, 306 (1992).
• 2) 大沼, 古川, 藤井, 松本, 藤森, 増本: 日本応用磁気学会誌, 17, 391 (1993); S. Ohnuma et al.: J. Magn. Magn. Mat. (to be published).
• 3) S. Ohnuma, H. Fujimori, S. Furukawa, F. Matsumoto and T. Masumoto: J. Mater. Sci. (to be published).
• 4) 木島, 本多: 日本応用磁気学会誌, 12, 317 (1988).
• 5) K. K. Shih and J. Karasinski: J. Appl. Phys., 73, 8377 (1993).

Terms in the title (3)： CO ,  Al ,  軟磁気特性