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J-GLOBAL ID：200902129191518203   Reference number：98A0090224

Application of a Furan-Containing Polymer/Fullerene System to Photolithography.

フラン含有重合体/フラーレン系のフォトリソグラフィーへの応用

Author (4)： TAJIMA Y (Sci. Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  TEZUKA Y (Sci. Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  ISHII T (Sci. Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  TAKEUCHI K (Inst. Physical and Chemical Res. (RIKEN), Saitama, JPN)
Material： Polymer Journal  (Polym J)
Volume： 29  Issue： 12  Page： 1016-1019  Publication year： Dec. 1997 
JST Material Number： F0612A  ISSN： 0032-3896  CODEN： POLJB8  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *photolithography ,...
Semi thesaurus term： *photocrosslinking ,...

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JST classification (2)： Other reactions of polymer  (CG03040H) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (14)：

• 1. E. T. Samulski, J. M. DeSimone, M. O. Hunt, Y. Z. Menceloglu, R. C. Jarnagin, G. A. York, K.B. Labat, and H. Wang, Chem. Mater., 4, 1153 (1992).
• 2. K. E. Geckeler and A. Hirsch, J. Am. Chem. Soc., 115, 3850 (1993).
• 3. N. Manalova, I. Rashkov, F. Beguin, and H. V. Damme, J. Chem. Soc., Chem. Commun., 1725 (1993).
• 4. A. O. Patil, G. W. Schriver, B. Carstensen, and R. D. Lundberg, Polym. Bull., 30, 187 (1993).
• 5. C. J. Hawker, Macromolecules, 27, 4836 (1994).

Terms in the title (5)： フラン ,  重合体 ,  フラーレン ,  フォトリソグラフィー ,  応用